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20kw雙極（中頻磁控）

時間：2020-04-23 14:43:35 來源：金創(chuàng)立科技瀏覽次數(shù)：

主要性能
JCL-HIP高功率脈沖磁控濺射電源以快速開關(guān)控制正負(fù)電極放電，避免從傳統(tǒng)磁控濺射之異常輝光放電區(qū)進(jìn)入電弧放電區(qū)，電流密度可達(dá)10¹⁹/m³，比傳統(tǒng)磁控濺射高三個量級，離化率更高達(dá)70%-100% ，可輕易沉積各種高級膜，附著力強(qiáng)。幾乎不用改變原來磁控濺射鍍膜設(shè)備，可直接更換電源即可。

主要特點
DSP全數(shù)字控制，自動化程度高
具有過流、過壓、超溫保護(hù)
全逆變設(shè)計，大功率IGBT功率模塊為主要器件，脈沖輸出有較強(qiáng)的沖擊力，單脈沖功率可達(dá)MW級

主要參數(shù)
1、輸入電壓：380V±5％，50HZ，三相交流；
2、輸出電壓：100V-4000V，脈沖電壓；
3、輸出電流：100A-2000A，脈沖電流；
4、輸出脈寬：5-2500us，可設(shè)定；
5、頻率：30Hz-50kHz，可選擇范圍；
6、輸出功率：10KW 20KW 30KW 40KW 50KW

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電源類產(chǎn)品

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